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技術(shù)支持

羅茨真空泵在真空系統(tǒng)中的應(yīng)用領(lǐng)域
更新時間:2023-06-20   點擊次數(shù):576次
  羅茨真空泵是一種機械增壓泵,它由兩個相互嚙合的旋轉(zhuǎn)葉輪、底板和連續(xù)吸氣的管道組成。經(jīng)過高速旋轉(zhuǎn)的葉輪將氣體從進氣口吸入泵內(nèi),再通過排氣口排出。
 
  羅茨真空泵主要應(yīng)用于以下幾個領(lǐng)域:
 
  1、半導(dǎo)體制造業(yè)
 
  半導(dǎo)體制造過程需要在非常高的真空環(huán)境下進行,以保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。在半導(dǎo)體制造中廣泛使用,可以用作前級泵或后級泵。前級泵的作用是將大氣壓縮到較低的壓力,后級泵則將氣體抽出去,達到更高的真空度。
 
  2、光學(xué)薄膜沉積
 
  光學(xué)薄膜沉積技術(shù)是一種重要的表面處理技術(shù),在制備各種光學(xué)元件中有廣泛應(yīng)用。在這個領(lǐng)域中被用來提供高真空環(huán)境,以保證沉積物表面的質(zhì)量和均勻性。
 

羅茨真空泵

 

  3、航空航天工業(yè)
 
  航空航天工業(yè)中,被廣泛應(yīng)用于推進系統(tǒng)和液氧系統(tǒng)的排氣和充氣。在發(fā)射前,航天器需要在真空環(huán)境中得到排氣,以確保推進系統(tǒng)和其他關(guān)鍵部件的正常運行。
 
  4、醫(yī)療設(shè)備
 
  醫(yī)療設(shè)備制造需要在高度干燥、無菌的環(huán)境下進行,這就需要使用真空泵將空氣抽出。在醫(yī)療設(shè)備中使用較多,比如在血液分離、放射性治療等方面。
 
  5、真空爐
 
  真空爐是一種重要的高溫處理設(shè)備,可以用于各種材料的熱處理和改性。在真空爐中起著重要作用,通過對爐內(nèi)氣體的抽出,可以有效地控制爐內(nèi)氣氛,提高加工質(zhì)量和效率。
 
  總之,羅茨真空泵是一種性能優(yōu)異的機械增壓泵,在半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜沉積、航空航天工業(yè)、醫(yī)療設(shè)備和真空爐等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。

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